空氣潔凈標準和規范在經濟和科技發達的國家和地區都有自己的標準，都規定了有關的潔凈度等級。例如：美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》（GBJ73-84），1996年該規范進行較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。目前，該規范在重新修訂中。 GBJ73-84規定的潔凈度等級 等級 | 每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數 | 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數 | 100 | 《35*100（〈3.5〉 |
| 1000 | 《35*1000（〈35〉 | 《250（〈0.25〉 | 10000 | 《35*10000（〈350〉 | 《2500（〈2.5〉 | 100000 | 《35*100000（〈3500〉 | 《25000（〈25〉 |
美國聯邦標準FS209E中的潔凈等級 等級名稱 | 等級限值 | 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 國際單位 | 英制 單位 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | M1.0 |
| 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / | M2.0 |
| 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / | M3.0 |
| 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / | M4.0 |
| / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / | M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 | M5.0 |
| / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 | M6.0 |
| / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | M7.0 |
| / | / | / | / | / | / | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 |
美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級 生物 潔凈 室標準 | 塵埃 | 生物粒子 | 壓力 | 溫度 | 濕度 | 氣流 | 照度 | 粒徑 (μm) | 個/L | 浮游量 (個/L) | 浮沉量 (個/㎡周) | ㎜H2O | ℃ | % | 換氣 次數 | Lx | 100 | ≥0.5 | ≤3.5 | ≤0.0035 | 12900 | ≥1.25 | 指定數 | 40~45 |
| 1000~1620 | 10000 | ≥0.5 ≥5.0 | ≤350 ≤2.3 | ≤0.0176 | 64600 | ≥1.25 |
| 100000 | ≥0.5 ≥5.0 | ≤3500 ≤23 | ≤0.0884 | 323000 | ≥1.25 |
日本工業標準JISB-9920-1989中的潔凈度等級 粒徑(μm) | 潔凈度等級(個/m3) | 1級 | 2級 | 3級 | 4級 | 5級 | 6級 | 7級 | 8級 | 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 | 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23600 |
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| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101000 | 1010000 | 10100000 | 0.5 | 0.35 | 3.5 | 35 | 350 | 3500 | 35000 | 350000 | 3500000 | 5.0 | / | / | / | / | 29 | 290 | 2900 | 29000 |
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